ВЧ Установка магнетронного напыления с 3 мишенями - фото 1 - id-p113654850

Характеристики и описание

Описание:

Прибор для нанесения покрытия магнетронным напылением с тремя мишенями представляет собой экономичное оборудование для нанесения покрытия магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией, которое обладает характеристиками стандартизации, модульности и настройки. Оборудование может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, жестких пленок, пленок политетрафторэтилена и т. д. Источники питания постоянного тока могут может использоваться для подготовки металлических пленок, источник радиочастотного питания можно использовать для подготовки неметаллических пленок, а три цели могут удовлетворить потребности в многослойном или множественном покрытии. По сравнению с аналогичным оборудованием, инструмент для нанесения покрытия магнетронным распылением с тремя мишенями не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого объема и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки пленок материалов в лаборатории.

Характеристики:

Установка для нанесения покрытий магнетронным напылением с 3 мишенями
Стол для образцов	Режим распыления	Ориентация распыления вверх, подставка для образца расположена над мишенью для распыления； Держатель образца для установки по центру сверху, с одним затвором
	Держатель образца	φ150mm
	Точность контроля	±1℃
	Диапазон температуры нагрева	Room temperature～500℃
	Скорость	1-20 об/мин регулируемая
	Базовое расстояние до цели	Расстояние между мишенью и подложкой можно регулировать электрически
Мишень магнетронной пушки	Плоскость мишени	Круглая плоскость
	Распыляющий вакуум	10Pa～0.2Pa
	Диаметр мишени	50～50.8mm
	Толщина мишени	2～5mm Note: if the target is magnetic material (such as Fe, Co, Ni), the thickness cannot be more than 1.5mm, and strong magnetic sputtering gun is required, will need extra charge.
	Напряжение изоляции	>2000V
	Количество	2 inches*3；with shutters for each gun
	Спецификация кабеля	SL-16
	Температура головки мишени	≦65℃
Вакуумная камера	Обработка внутренней стенки	Электролитическая полировка
	Размер камеры	φ300mm × 350mm
	Материал камеры	304 stainless steel
	Смотровое окно	Quartz window, diameter φ100mm with shutter
	Метод герметизации	Viton seal
	Метод открытия	Верхушка открывается, вспомогательная опора цилиндра
Система газового контроля	Контроль потока	Трехходовой массовый расходомер: Кислород: диапазон 0~100 куб.см Аргон: диапазон 0~200 куб. см Азот: диапазон 0~500 куб. см (Примечание: Для достижения более высокого уровня бескислородной среды вакуумная камера должна быть очищена инертным газом высокой чистоты не менее 3 раз.)
	Тип газа	Аргон, азот, кислород и другие инертные газы
	Тип регулирующего клапана	Электромагнитный клапан
	Регулирующий клапан, статическое состояние	Обычно закрытое
	Измерение линейности	±1.5% F.S
	Повторяемость измерений	±0.2% F.S
	Время отклика измерений	≤8 секунд（T95）
	Диапазон рабочего давления	0.3MПа
	Давление в корпусе клапана	3MПа
	Рабочая температура	（5～45）℃
	Материал корпуса	Нержавеющая сталь 316L
	Скорость утечки через корпус клапана	1×10-8Па.м3/с
	Соединения труб	1/4″компрессионное соединение
	Входящий и выходящий сигнал	0～5В
	Источник питания	±15V（±5%）（＋15В 50мА, －15В 200мА）
	Суммарный размер, мм	130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина)
	Коммуникационный интерфейс	RS485 MODBUS protocol
Источник питания постоянного тока	Источник питания	500Вт
	Выходное напряжение	0～600В
	Максимальный выходной ток	1А
	Длительность времени	65000 С
	Время начала	1～10 С
	Количество	2 набора
Радиочастотный источник питания	Источник питания	500Вт
	Диапазон выходной мощности	0-500Вт, с автоматическим сопоставлением
	Максимальная отраженная мощность	100Вт
	Радиочастота	13.56MГц+/-0.005% стабильность
	Стабильность мощности	≤5Вт
	Гармоническая составляющая	меньше чем -50дБ
	Количество	1 набор